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荷兰新规定:半导体设备出口需提前申请许可证|天天快看

2023-07-04 04:58:11 来源:中关村在线


(资料图片仅供参考)

荷兰政府近日出台新规,即自9月1日起,对部分先进半导体设备的出口将受到限制,需要相关企业提前申请出口许可证才能进行。对此,全球知名半导体设备生产商ASML表示,将接受政府的规定并按需申请,再次出口其高级的浸润式DUV光刻系统(即TWINSCAN NXT:2000i及后续浸润式系统)时,需向荷兰政府提前进行申请。同时,该公司也明确表示,其EUV系统的销售自始就受到限制。 根据ASML自身官网所展示,该企业目前的浸润式DUV光刻机产品主要包括TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i三款。早在3月,ASML便预计2000i和2050i会受到荷兰政府的出口限制。然而,对比其最新的回应,TWINSCAN NXT:1980Di并没有被列入限制之内。 据了解,该款光刻机虽然理论上可以达到7nm生产工艺,但步骤更为复杂,成本较高,且可能会对产出良率产生影响。因此它主要用于生产14nm及以上工艺的芯片,而很少用于生产14nm以下的工艺,原因在于后者由于良率低,生产成本高,缺乏竞争力。

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